國內臺自動龍門式12英寸砂輪滑片機通過鑒定
2013-08-11 16:19:38
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中國機械工業集團公司（簡稱國機集團）所屬沈陽儀表院2013年5月31日發布消息稱，公司 “12英寸IC芯片劃片工藝裝備研制”通過了沈陽市科技局科技成果鑒定。 項目研制出了國內臺全自動、龍門式12英吋砂輪劃片機。高累積步進精度可達2μm/310mm，主軸高轉速41000r/min。申請發明3項以上，實用新型4項以上，取得了一批具有自主知識產權的研究成果，填補了國內空白，整體技術水平達到水平，形成了相應技術規范和標準。項目的成功為提升我國IC（集成電路）裝備的技術水平檔次、提高市場的競爭力和市場占有率，滿足我國IC裝備需求將起到重要的推進作用
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