中國機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司（簡稱國機(jī)集團(tuán)）所屬沈陽儀表院2013年5月31日發(fā)布消息稱，公司 “12英寸IC芯片劃片工藝裝備研制”通過了沈陽市科技局科技成果鑒定。 項(xiàng)目研制出了國內(nèi)臺(tái)全自動(dòng)、龍門式12英吋砂輪劃片機(jī)。高累積步進(jìn)精度可達(dá)2μm/310mm，主軸高轉(zhuǎn)速41000r/min。申請(qǐng)發(fā)明3項(xiàng)以上，實(shí)用新型4項(xiàng)以上，取得了一批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的研究成果，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，整體技術(shù)水平達(dá)到水平，形成了相應(yīng)技術(shù)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目的成功為提升我國IC（集成電路）裝備的技術(shù)水平檔次、提高市場的競爭力和市場占有率，滿足我國IC裝備需求將起到重要的推進(jìn)作用